半導(dǎo)體行業(yè)液氮真空管用于**有效地傳輸液氮，也用于MBE工藝以及半導(dǎo)體組裝和測(cè)試設(shè)施中集成芯片（IC）的冷測(cè)試。半導(dǎo)體行業(yè)液氮真空管由動(dòng)態(tài)真空和靜態(tài)真空技術(shù)組成的兩種系統(tǒng)（動(dòng)態(tài)真空：選擇外部泵-動(dòng)態(tài)系統(tǒng)作為整個(gè)管道系統(tǒng)的一部分；靜態(tài)真空：靜態(tài)安裝，通常我們默認(rèn)為選擇靜態(tài)安裝，而不需要外部泵，而僅依靠我們抽真空和密封的靜態(tài)管道的真空質(zhì)量。
半導(dǎo)體行業(yè)液氮真空管的特點(diǎn)
管道夾層采用高真空多層絕熱結(jié)構(gòu)，使氣體對(duì)流傳熱可忽略不計(jì)；
高真空絕熱材料的有效導(dǎo)熱系數(shù)小（較發(fā)泡聚氨脂小100倍以上）；
低溫絕熱管道之間采用＂撐插式法蘭連接＂，法蘭處無(wú)冒汗結(jié)霜，其金屬的導(dǎo)熱大大降低；
高真空低溫管道的漏熱量較相同公稱直徑的堆積絕熱管道漏熱量小10倍以上；
根據(jù)用戶需要在低溫絕熱管道上可增設(shè)高真空多層絕熱低溫截止閥和止回閥，閥門(mén)不冒汗，不結(jié)霜．
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半導(dǎo)體行業(yè)液氮真空管 |
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管道 規(guī)格（mm） |
通徑 |
DN15 |
DN20 |
DN25 |
DN32 |
DN40 |
DN50 |
DN65 |
DN80 |
DN100 |
DN125 |
DN150 |
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內(nèi)管 |
Φ20*2 |
Φ25*2 |
Φ32*3 |
Φ38*3 |
Φ45*3 |
Φ57*3 |
Φ76 |
Φ89 |
Φ108 |
Φ133 |
Φ159 |
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外管 |
Φ76*2 |
Φ89*2 |
Φ89*2 |
Φ108*2 |
Φ108*2 |
Φ114*3 |
Φ133 |
Φ159 |
Φ168 |
Φ219 |
Φ245 |
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工作壓力 |
根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì) |
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設(shè)計(jì)溫度 |
-196℃/-270℃ |
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工作介質(zhì) |
LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG |
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內(nèi)、外管材質(zhì) |
06Cr19Ni10、SUS304 (可根據(jù)用戶要求選擇內(nèi)管材質(zhì)） |
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結(jié)構(gòu)形式 |
高真空多層絕熱 |
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夾層壓力 |
＜0.004Pa |
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管道真空漏率 |
＜2*10-10Pa L/S |
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